'한국형 슈퍼을' 기업 (2) 김용운 대표의 도전반도체 초미세화 핵심기술2나노 초미세공정도 가능TSMC 등 20여 개사 판매3년 연속 이익률 50% 넘어“처음엔 ‘수소 폭탄을 반도체 공장에 넣는 거냐’며 다들 고개를 저었죠. 하지만 우린 언젠가 때가 올 것이란 걸 알았습니다.”경기 화성 HPSP 본사에서 만난 김용운 대표(사진)는 고압 수소 어닐링 장비 상용화의 전환점이 된 2019년을 이렇게 회고했다. 모두가 불가능하다던 기술은 이제 삼성전자와 SK하이닉스, 대만 TSMC, 미국 인텔 등 20여 개 글로벌 반도체 기업이 쓰는 필수 공정이 됐다. 지난해 HPSP 영업이익률은 52%로 3년 연속 50%를 넘었다. 위험성과 복잡도 때문에 누구도 엄두를 내지 못하던 고압 수소 기술로 반도체 초미세화의 최전선을 지배하며 ‘한국형 슈퍼을’로 떠올랐다. ◇최강 압력 제어 기술로 시장 선점코스닥시장 상장사인 HPSP 사명은 ‘고압 솔루션 생산자’(High Pressure Solution Provider)를 의미한다. 핵심 기술은 압력 제어에 있다. 어닐링은 반도체 웨이퍼 표면에 생긴 미세한 상처, 즉 계면 결함을 치유해 전기적 특성을 복원하는 공정이다. 반도체업계는 기존엔 1000도가 넘는 급속 열처리 등을 통해 계면 결함을 해결해 왔지만 반도체 회로폭이 10나노미터(㎚) 이하로 좁아지면서 고온 공정은 한계에 봉착했다. HPSP의 고압 수소 어닐링은 100% 수소 농도, 최대 25기압의 초고압으로 250~450도 저온 환경에서 계면 결함을 제거하는 기술이다. 기존 수소 어닐링 기업은 5% 미만의 수소 농도, 1기압 미만의 압력에 머물렀고 이는 16㎚ 이하 공정에선 통하지 않았다.김 대표는 “높은 압력이 수소 분자 확산을 촉진해 소자 내 결함을 효과적으로 제거하는 동시에 낮은 온도에서도 어닐링 효과를 얻을 수 있게 한다”며 “2㎚ 초미세 공정에도 적용 가능하고 반도체 소자의 구동 전류를 최대 15% 향상시킨다”고 설명했다.2018년까지 HPSP 연 매출은 23억원에 불과했다. 반전은 2019년 시작됐다. 글로벌 파운드리 기업의 10㎚ 이하 공정 기술 경쟁이 본격화하면서다. 삼성전자, TSMC, 인텔 등 글로벌 파운드리 업체의 주문이 쇄도하며 HPSP 매출은 2019년 251억원, 2020년 612억원, 2021년 918억원으로 폭발적으로 상승했다. 지난해 매출은 1814억원, 영업이익은 939억원을 기록했다. ◇‘고객 맞춤화+발명 문화’김 대표는 H'한국형 슈퍼을' 기업 (2) 김용운 대표의 도전반도체 초미세화 핵심기술2나노 초미세공정도 가능TSMC 등 20여 개사 판매3년 연속 이익률 50% 넘어“처음엔 ‘수소 폭탄을 반도체 공장에 넣는 거냐’며 다들 고개를 저었죠. 하지만 우린 언젠가 때가 올 것이란 걸 알았습니다.”경기 화성 HPSP 본사에서 만난 김용운 대표(사진)는 고압 수소 어닐링 장비 상용화의 전환점이 된 2019년을 이렇게 회고했다. 모두가 불가능하다던 기술은 이제 삼성전자와 SK하이닉스, 대만 TSMC, 미국 인텔 등 20여 개 글로벌 반도체 기업이 쓰는 필수 공정이 됐다. 지난해 HPSP 영업이익률은 52%로 3년 연속 50%를 넘었다. 위험성과 복잡도 때문에 누구도 엄두를 내지 못하던 고압 수소 기술로 반도체 초미세화의 최전선을 지배하며 ‘한국형 슈퍼을’로 떠올랐다. ◇최강 압력 제어 기술로 시장 선점코스닥시장 상장사인 HPSP 사명은 ‘고압 솔루션 생산자’(High Pressure Solution Provider)를 의미한다. 핵심 기술은 압력 제어에 있다. 어닐링은 반도체 웨이퍼 표면에 생긴 미세한 상처, 즉 계면 결함을 치유해 전기적 특성을 복원하는 공정이다. 반도체업계는 기존엔 1000도가 넘는 급속 열처리 등을 통해 계면 결함을 해결해 왔지만 반도체 회로폭이 10나노미터(㎚) 이하로 좁아지면서 고온 공정은 한계에 봉착했다. HPSP의 고압 수소 어닐링은 100% 수소 농도, 최대 25기압의 초고압으로 250~450도 저온 환경에서 계면 결함을 제거하는 기술이다. 기존 수소 어닐링 기업은 5% 미만의 수소 농도, 1기압 미만의 압력에 머물렀고 이는 16㎚ 이하 공정에선 통하지 않았다.김 대표는 “높은 압력이 수소 분자 확산을 촉진해 소자 내 결함을 효과적으로 제거하는 동시에 낮은 온도에서도 어닐링 효과를 얻을 수 있게 한다”며 “2㎚ 초미세 공정에도 적용 가능하고 반도체 소자의 구동 전류를 최대 15% 향상시킨다”고 설명했다.2018년까지 HPSP 연 매출은 23억원에 불과했다. 반전은 2019년 시작됐다. 글로벌 파운드리 기업의 10㎚ 이하 공정 기술 경쟁이 본격화하면서다. 삼성전자, TSMC, 인텔 등 글로벌 파운드리 업체의 주문이 쇄도하며 HPSP 매출은 2019년 251억원, 2020년 612억원, 2021년 918억원으로 폭발적으로 상승했다. 지난해 매출은 1814억원, 영업이익은 939억원을 기록했다. ◇‘고객 맞춤화